根據出版物，最接近10納米級存儲器半導體物理工程的是EUV。目前主要使用的變波10納米級存儲器半導體物理工程有ArF波。雖然采用自上而下的模式，但是作為極紫外光使用，唯壹的區別就是畫出了更細微的電路。EUV可以盡快試行，但高價格和低產量是它需要解決的問題。EUV項目由芬蘭商業機構阿斯麥壟斷，其設備價格為6543.8+0000億元。據悉，其產量也遠低於ArF。
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