同時，測量裝置也用於測量負載下的條件。加載高精度CMA時。放在同壹個花崗巖面上作為高精度測量裝置滿足所有要求，放在同壹個花崗巖面上作為高精度測量裝置滿足所有要求，在兩個基本坐標系之間不斷穩定。CMA位於中間區域的長度測量方向，距離光束中心線622 mm。CMA測量直線和角度偏差的裝置安裝在水平面上，如圖10所示。縮略圖10如下:CMA三坐標測量臂，EI電子，測斜儀，LL-激光班輪運輸，AK-自動-激光幹涉儀。在這些測量中，我們從負載表面確定了CMA方向真空軸承和連接銷。連接銷具有相同的直徑用於接觸。
探針系統連接到CMA。連接銷的制造商非常精確地連接轉動部件的旋轉真空空氣軸承。整體旋轉精度的測量與針下的負載情況有關，小於1微米。因此，軸承旋轉精度的影響可以忽略不計。
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