單層薄膜的厚度通過表面輪廓來測量。x射線衍射(使用40 mA，40 kV CUKα輻射)布置在平面外，以測量使用對稱(θ-θ)和不對稱(2θ)掃描模式評估的晶體結構。非對稱掃描模式下X射線在薄膜表面的入射角設置為65438±0。在平面上排列X射線衍射采用對稱的(θχ2θχ)掃描方式，從晶格平面垂直於襯底的表面平面檢測X射線衍射，X射線與薄膜表面的入射角也是65438±0。薄膜的表面形貌通過原子力顯微鏡(AFM)以動態掃描模式觀察形貌，並由該形貌確定表面粗糙度(Ra)。
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