磁控濺射是最廣泛使用的濺射方法，並且在這些方法中是公認的。
塗層技術用於微電子應用，例如
金屬和磁性裝置。在過去的幾年中，許多納米多層
基於不同的材料系統和/或微結構，該結構已經準備好。
通過濺射。然而，材料系統主要限於導體
氮化物。然而，納米層鈦酸鋇(賈等，1995)和納米多層。
基於簡單氧化物材料的結構，例如y2o3/zeo2超晶格(Jasar等人，
1999)已經通過濺射制備。