2.1設備要求
alpha-SE系統的設備要求見表2-1，系統的規格見圖2-1。如圖2-2所示，alpha-SE工具需要壹個清晰的工作區域，即20*18英寸(500*400 mm之間)的間隔，這還不包括操作電腦。
2.2硬件開箱
打開裝運箱，將aspha-SE移至安裝位置。打開盒子，去除頂部和側面的泡沫。小心地從箱子中取出所有小零件，並參照圖2-3檢查您是否收到了所有零件。最後，取出alpha-SE偏振光橢圓率測量儀，放入妳確定的20*18英寸(500*460 mm)的工作區域。
註意:alpha-SE偏振橢圓度測量儀(不包括樣品卡盤)重約37lbs(16 kg)，妳可以找個助手把alpha-SE部分從箱子裏提出來放在工作區。