量熱傳感系統包含至少壹個熱傳感器,其根據流體的流動性檢測加熱元件周圍在下遊和逆流方向上的熱分布溫度。因為可以檢測到流體流動方向不同導致的熱流不對稱,所以這種方法可以測量相對於流量的速度(見圖2)。
例如,簡單的壹維矽襯底熱量計傳感器的溫度模型為:
(公式)
加熱元件-加熱元件
熱分布-熱分布
流體流動-液體/流體流動
速度測量-速度測量
矽襯底-矽襯底、矽基
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