相似的沈積參數用於粗糙的氧化鋁襯底。
預處理以獲得最終的微型器件。
氧化鋁基板(34 mm× 34 mm)按規定尺寸制作，並預先排列好。
獲得單個樣品(3 mm× 3 mm)用於切割。
在背面，它們配備了50納米的Ti/500納米。
像加熱器Pt河蜿蜒的總和，穿過前方，穿過雙手十指交叉的Pt。
測量期間，觸點按順序讀取極化傳感器的電流值。沈積傳感層後，將器件焊接在商用to -8插座上，並置於合適的測試室內。通過提供具有給定電壓的熱線，在不同的工作溫度下加熱傳感器。通過應用程序執行乙醇和丙酮蒸汽傳感器反應。
10v之間的連續電壓傳感器電極，以及
電流由靜電計檢測。
獲得所需的氣體濃度。
使用驗證氣瓶和不同的塊流量控制器。
(MFC)與質量流量的控制器系統(MKS mod)相連。
647B ),這允許適當稀釋收集的蒸汽。
空氣。在此期間，100 sccm的完整流程得以修復。